M系列質量流量計規格
滿量程范圍: 0.5 SCCM 至 5,000 SLPM
測量范圍:滿量程的 0.01% – 100%
準確度:讀數的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準
可選高精度:讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準
重復性:讀數的 0.1% 和滿量程的 0.02%
響應時間:<10 毫秒
工作溫度: –10°C 至 +60°C
滿量程工作壓力: 160 PSIA (11 barA)
M系列質量流量計特征
同時測量體積流量、質量流量、氣體壓力和氣體溫度。
現場可調工程單位和STP/NTP 條件。
從98 多種預加載的 NIST 可溯源氣體校準中選擇工藝氣體。
定義和存儲多達 5 種成分氣體的20 種自定義氣體混合物。
使用集成觸摸板從背光顯示屏和控制配置中讀取測量值。
可選的集成雙流量累加器和警報。
M系列質量流量計構建和性能選項
通訊:模擬、RS–232、RS–485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
過程連接: NPT、SAE、AN、BSPP/G、壓縮、VCR、VCO
顯示器:背光單色或彩色;集成或面板安裝;沒有任何
彈性體: FKM、FFKM、EPDM、硅膠
校準:標準或高精度;自定義校準點
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