SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器描述
MCE 系列性能（大多數(shù)產(chǎn)品）
可用滿量程范圍： 0.5 SCCM 至 20 SLPM
穩(wěn)態(tài)控制范圍：滿量程的 0.01% – 100%
標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn)，NIST 可溯源：讀數(shù)的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準(zhǔn)
可選的高精度校準(zhǔn)，NIST 可溯源：讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準(zhǔn)
重復(fù)性： ±（讀數(shù)的 0.1% + 滿量程的 0.02%）
典型控制響應(yīng)時(shí)間：最快 30 ms
預(yù)熱時(shí)間： <1 s
MCE 系列工作條件
兼容氣體： 98 多種預(yù)加載的可選氣體校準(zhǔn)
工作溫度： –10°C 至 +60°C
滿量程工作壓力： 160 PSIA
最大壓差： 75 PSID
耐壓： 175 PSIA
用戶可選擇的參考條件（默認(rèn)）： 25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)
設(shè)備范圍和完整規(guī)格
器件的定制范圍從 0.5 SCCM 滿量程 到20 SLPM 滿量程，可控范圍為滿量程的0.01% 到 100%。
有關(guān)從0.5 SCCM 滿量程到5 SCCM 滿量程的設(shè)備規(guī)格，請(qǐng)參閱 MCE 系列低流量設(shè)備規(guī)格。
有關(guān)從10 SCCM 滿量程到20 SLPM 滿量程的設(shè)備規(guī)格，請(qǐng)參閱MCE 系列中流量設(shè)備規(guī)格。
每個(gè)設(shè)備都包含
多變量過程測(cè)量：同時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。
用戶可更改的測(cè)量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測(cè)量單位。
氣體可選性： 從我們氣體列表中的 98 多種預(yù)加載 NIST 可溯源氣體校準(zhǔn)中選擇您的工藝氣體 。
Gas Select COMPOSER™： 使用我們的Gas Select Composer ™ 固件定義多達(dá) 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。
帶集成觸摸板的單色背光 LCD： 使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測(cè)量值。
用戶可調(diào)節(jié)的設(shè)定點(diǎn)斜坡和限制：可配置的斜坡率允許根據(jù)需要控制過程變量的快或慢，可配置的設(shè)定點(diǎn)限制可保護(hù)過程免受無意的設(shè)定點(diǎn)更改。
用戶可調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 (STP) 條件： 快速 更改參考條件 ，無需重新校準(zhǔn)。
閥門關(guān)閉覆蓋和閥門打開覆蓋：利用警報(bào)快速排放系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。
SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器配件
工藝端口接頭和過濾器
電源
通信電纜和轉(zhuǎn)換電纜
BB3 和 BB9 多點(diǎn)分線盒
